-
- Там координатный 5 осевой левитирующий в магнитном поле стол нужен с соотвествующей точностью, деформируемые управляемые зеркала, система совмещения, ннтерферометры. Наши древний Хюлетт всё никак не скопируют, первому из которых скоро пол века будет, а у него разрешение было всего 10 нанометров. Кстати, как они совмещают на нанометровых размерах, как выглядят реперные знаки или что там сейчас? В моей молодости всё было просто - загнал руками под микроскопом в каждом углу БAPMAЛEЙ(46 знак., 17.02.2026 03:15)
- Трёх всего материалов. - Kpoк(16.02.2026 17:40)
- Палладий, золото, легирующие добавки (фосфор, сурьма что там ещё),
всякие травители смыватели, всё это высочайшего класса чистоты,
иначе отбраковка с пластины лавинообразно возрастает. А вы про
какие материалы? - Ralex(16.02.2026 17:46)
- Не моют. Уже давно газовое травление. - БAPMAЛEЙ(17.02.2026 02:56)
- Алюминий-Кремний-Фосфор - Kpoк(16.02.2026 18:45)
- Палладий, золото, легирующие добавки (фосфор, сурьма что там ещё),
всякие травители смыватели, всё это высочайшего класса чистоты,
иначе отбраковка с пластины лавинообразно возрастает. А вы про
какие материалы? - Ralex(16.02.2026 17:46)