Mebius (13.03.2014 13:30, просмотров: 5691)
Делаем ёмкостной датчик дифференциального микродавления. Нужна мембрана из диэлектрического материала с системой электродов на ней. Мембрана должна будет герметично разделять корпус датчика на два объёма, давления в которых и будут сравниваться. Из чего можно сделать такую мембрану? В литературе часто упоминаются силиконовые мембраны. Кто (желательно в России) может изготовить подобное? Давления в интервале от 0,2 до 80 кгс/м2. Готовых таких не нашёл с требуемой точностью и темп. стабильностью.