Evgeny_CD, Архитектор (25.12.2017 23:16, просмотров: 294) ответил Николай Коровин на Кстати, в прошлый раз так и не раскурили последний вариант «ионного принтера». Остановились на том, что сфокусированный «в нано» пучок нельзя отклонять (никакая отклоняющая система не переспорит фокусирующую), а плохо сфокусированный кроет всю
Все гораздо проще! Принцип Polaroid. 1. Пусть все кристаллы имеют фиксированный размер - 10 х 10 мм, например, изначально смонтированы на транспортной подложке, и имеют штатные прицельные кресты - вытравлены в процессе подготовки "картриджа".
2. Все нанесение всегда - широким равномерным пучком. Пучком шире базового кристалла.
3. Наносим фоторезист и травим его пучком электронов. Для простоты одним пучком одной отклоняющей системой. Я в курсе, что это долго - но мы договорились, что у нас производительность низкая.
4. Шарашим ионами или еще чем надо.
5. Травим кристалл, наносим новый фоторезист.
6. "Картридж" имеет маскируемые зоны (хотя бы скотч манипулятором срываем), где находится что-то типа кварцевого резонатора. По изменению частоты оцениваем толщину нанесенной пленки. Т.е. нанесли. выключили пучек, измерили толщину, решили - надо ли наносить еще.
Цели - получить себестоимость кристалла на выходе $100. С учетом всех затрат - картриджи, электричество, етс.
Заметим, в случае травления электронным пучком у нас нет сильных ограничений по размеру топологии. Т.е. до десятков нм все более-менее линейно.
Есть, конечно, много дополнительных вопросов - поддержание чистоты в камере и т.д., но они, на мой взгляд, линейные.
Главное идея - картридж!
