-
- Причем такое ощущение, что этот буерный газ в эксимерном лазере
расходуется в приличном количестве. - Evgeny_CD(27.02.2022 17:18)
- Я не доучился по специальности инженер - оптик - исследователь :-)
Армия. Но по сути, чем лазер от куска волновода или другого
резонатора отличается? А спектры газов разные. Скажем, какую длину
волны использует ASML для литографии порядка 5 нМ? Я тоже не
знаю:-) - Visitor(27.02.2022 17:39)
- ~13 нм Там капли олова летят, а их испаряют лазером :) - Evgeny_CD(27.02.2022 18:10)
- Статья Evgeny_CD(1 знак., 04.03.2022 13:22, ссылка)
- Зачем олово в процессе литографии? Или шутка такая. Как арсенид
галлия производится в печке, монокристалл, представляю, как его на
пластины режут, догадываюсь (болгаркой:-)) А вот что дальше
происходит не в курсе. - Visitor(27.02.2022 21:28)
- Пары олова излучают жоский УФ. - mse homjak(27.02.2022 21:33)
- 13нм - это уже рентген - Evgeny_CD(04.03.2022 12:13)
- Граница между жёстким ультрафиолетом и мягким рентгеновским до сей поры численно не определена. И даже размыта на порядок. Суть не в терминологии, а в прикладной физике. - bnb62(04.03.2022 12:43)
- АСМЛ работают в дальнем УФ. - mse homjak(04.03.2022 12:14)
- 13нм - это уже рентген - Evgeny_CD(04.03.2022 12:13)
- Пары олова излучают жоский УФ. - mse homjak(27.02.2022 21:33)
- ~13 нм Там капли олова летят, а их испаряют лазером :) - Evgeny_CD(27.02.2022 18:10)
- Я не доучился по специальности инженер - оптик - исследователь :-)
Армия. Но по сути, чем лазер от куска волновода или другого
резонатора отличается? А спектры газов разные. Скажем, какую длину
волны использует ASML для литографии порядка 5 нМ? Я тоже не
знаю:-) - Visitor(27.02.2022 17:39)
- Причем такое ощущение, что этот буерный газ в эксимерном лазере
расходуется в приличном количестве. - Evgeny_CD(27.02.2022 17:18)