caxapa.ru :: Научно-исследовательскую работу по изучению возможности разработки установки безмасочной рентгеновской нанолитографии с длиной волны 13,5 нм на базе синхротронного и/или плазменного источника выполняют ученые Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» МИЭТ. В случае успеха исследования в России появится уникальное оборудование для производства микросхем топологического уровня 28 нм и меньше. Напомним, что в сентябре прошлого

=L.A.= (06.05.2022 18:40, просмотров: 211) ответил Evgeny_CD на Китайская фотолитография 90нм. Говорят, 28нм у них тоже есть, но пока только тестируется.

Научно-исследовательскую работу по изучению возможности разработки установки безмасочной рентгеновской нанолитографии с длиной волны 13,5 нм на базе синхротронного и/или плазменного источника выполняют ученые Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» МИЭТ. В случае успеха исследования в России появится уникальное оборудование для производства микросхем топологического уровня 28 нм и меньше. Напомним, что в сентябре прошлого

года миэтовцы получили грант Минобрнауки на реализацию проекта в области синхротронных исследований.

https://miet.ru/news/143217

Ответить

- Ключевое слово "безмасочное". За ним следуют слова "малая партия", "дорого", "медленно". Такшта если вы работаете не на оборонку не обращайте внимания. - Codavr(12.05.2022 13:58)
  - А маски на чём делаются? Особенно для 7нм-1нм - =AlexD=(12.05.2022 14:19)
    - Без понятия. Давно не интересовался и внятная информация не попадалась, все больше общие слова. - Codavr(13.05.2022 09:51)
      - По логике вещей, маски должны использовать идеальный кремний диаметром не более 200мм. Это даёт где-то чуть более одного порядка уменьшения линейных размеров при фотоэкспонировании. А ещё учитываем то, что всё что ниже 28нм - это фокусы с интерференцией и плотностью компоновки, то получается что сам шаблон должен делаться с точностью как-раз в +-28нм. И на чём его делать? Только на установках электронной литографии. Шаблонов нужно немного и делать их можно медленно. - =AlexD=(13.05.2022 10:26)
- Молодцы. Вопросов нет. Когда-нибудь они его доделают. Но литография это очень важная, но только часть процесса 28нм. Где всякие там травилки и имплантеры? Где тонкая химия? - Evgeny_CD(12.05.2022 10:41)
  - вообще-то процесс начинается с очистки кремния и получения монокристалла диаметром от 150 до 300мм - =L.A.=(12.05.2022 13:53)
    - А это кто? --> Solo(1 знак., 12.05.2022 14:19, ссылка)

0xFF