=AlexD= (12.05.2022 14:19, просмотров: 154) ответил Codavr на Ключевое слово "безмасочное". За ним следуют слова "малая партия",
"дорого", "медленно". Такшта если вы работаете не на оборонку не
обращайте внимания.Это моё личное предвзятое мнение. Любое совпадение с реальностью является случайным и непреднамеренным.
-
- Без понятия. Давно не интересовался и внятная информация не
попадалась, все больше общие слова. - Codavr(13.05.2022 09:51)
- По логике вещей, маски должны использовать идеальный кремний диаметром не более 200мм. Это даёт где-то чуть более одного порядка уменьшения линейных размеров при фотоэкспонировании. А ещё учитываем то, что всё что ниже 28нм - это фокусы с интерференцией и плотностью компоновки, то получается что сам шаблон должен делаться с точностью как-раз в +-28нм. И на чём его делать? Только на установках электронной литографии. Шаблонов нужно немного и делать их можно медленно. - =AlexD=(13.05.2022 10:26)
- Без понятия. Давно не интересовался и внятная информация не
попадалась, все больше общие слова. - Codavr(13.05.2022 09:51)