caxapa.ru :: Ключевое слово "безмасочное". За ним следуют слова "малая партия", "дорого", "медленно". Такшта если вы работаете не на оборонку не обращайте внимания.

Codavr (12.05.2022 13:58, просмотров: 207) ответил =L.A.= на Научно-исследовательскую работу по изучению возможности разработки установки безмасочной рентгеновской нанолитографии с длиной волны 13,5 нм на базе синхротронного и/или плазменного источника выполняют ученые Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» МИЭТ. В случае успеха исследования в России появится уникальное оборудование для производства микросхем топологического уровня 28 нм и меньше. Напомним, что в сентябре прошлого

Ключевое слово "безмасочное". За ним следуют слова "малая партия", "дорого", "медленно". Такшта если вы работаете не на оборонку не обращайте внимания.

Долой империалистический интернационал!

Ответить

- А маски на чём делаются? Особенно для 7нм-1нм - =AlexD=(12.05.2022 14:19)
  - Без понятия. Давно не интересовался и внятная информация не попадалась, все больше общие слова. - Codavr(13.05.2022 09:51)
    - По логике вещей, маски должны использовать идеальный кремний диаметром не более 200мм. Это даёт где-то чуть более одного порядка уменьшения линейных размеров при фотоэкспонировании. А ещё учитываем то, что всё что ниже 28нм - это фокусы с интерференцией и плотностью компоновки, то получается что сам шаблон должен делаться с точностью как-раз в +-28нм. И на чём его делать? Только на установках электронной литографии. Шаблонов нужно немного и делать их можно медленно. - =AlexD=(13.05.2022 10:26)

0xFF