-
- Ключевое слово "безмасочное". За ним следуют слова "малая партия",
"дорого", "медленно". Такшта если вы работаете не на оборонку не
обращайте внимания. - Codavr(12.05.2022 13:58)
- А маски на чём делаются? Особенно для 7нм-1нм - =AlexD=(12.05.2022 14:19)
- Без понятия. Давно не интересовался и внятная информация не
попадалась, все больше общие слова. - Codavr(13.05.2022 09:51)
- По логике вещей, маски должны использовать идеальный кремний диаметром не более 200мм. Это даёт где-то чуть более одного порядка уменьшения линейных размеров при фотоэкспонировании. А ещё учитываем то, что всё что ниже 28нм - это фокусы с интерференцией и плотностью компоновки, то получается что сам шаблон должен делаться с точностью как-раз в +-28нм. И на чём его делать? Только на установках электронной литографии. Шаблонов нужно немного и делать их можно медленно. - =AlexD=(13.05.2022 10:26)
- Без понятия. Давно не интересовался и внятная информация не
попадалась, все больше общие слова. - Codavr(13.05.2022 09:51)
- А маски на чём делаются? Особенно для 7нм-1нм - =AlexD=(12.05.2022 14:19)
- Молодцы. Вопросов нет. Когда-нибудь они его доделают. Но литография
это очень важная, но только часть процесса 28нм. Где всякие там
травилки и имплантеры? Где тонкая химия? - Evgeny_CD(12.05.2022 10:41)
- вообще-то процесс начинается с очистки кремния и получения
монокристалла диаметром от 150 до 300мм - =L.A.=(12.05.2022 13:53)
- А это кто? --> Solo(1 знак., 12.05.2022 14:19, ссылка)
- вообще-то процесс начинается с очистки кремния и получения
монокристалла диаметром от 150 до 300мм - =L.A.=(12.05.2022 13:53)
- Ключевое слово "безмасочное". За ним следуют слова "малая партия",
"дорого", "медленно". Такшта если вы работаете не на оборонку не
обращайте внимания. - Codavr(12.05.2022 13:58)