-
- Нормально представляю. Есть рентгеновские линзы, колиматоры и прочая херня. Кстати, 193 нм это совсем не мягкий УФ. - Shura(20.07.2010 09:27)
- вот про жесткий УФ и технологии порядка 100 нм koyodza(1007 знак., 19.07.2010 19:05)
- Вот где нанотехнологии... - Vladimir Ljaschko(20.07.2010 10:14)
- На данный момент EUV не вышла из лабораторий. До 45 нм используют традиционную, а меньше - иммерсионную литографию. - =AlexD=(19.07.2010 19:19)
- вот ещё. Про рентген - видимо я сам додумал, прошу прощения koyodza(561 знак., 19.07.2010 19:12)