caxapa.ru :: Из открытых источников: масочная литография в производство пойдет года через 2 у нас. Вот прикольно другое, что ASML обеспокоенность выразили по поводу ситуации на Украине и возможного прекращения поставок критически важного элемента - неона. Как его добывают, не представляю, зачем нужен, только предположить могу - лазеры жесткого УФ диапазона. Это к слову о том, что любая случайность может на мировую экономику повлиять.

Visitor (27.02.2022 15:49, просмотров: 259) ответил bnb62 на Евгений, ты в курсе, как там идут дела с отечественной безмасочной литографией? Кто или что тормозит, и почему "все яйца в одной корзине" НИУ МИЭТ? Обнадеживающая статья:

Из открытых источников: масочная литография в производство пойдет года через 2 у нас. Вот прикольно другое, что ASML обеспокоенность выразили по поводу ситуации на Украине и возможного прекращения поставок критически важного элемента - неона. Как его добывают, не представляю, зачем нужен, только предположить могу - лазеры жесткого УФ диапазона. Это к слову о том, что любая случайность может на мировую экономику повлиять.

Ответить

- неон ... является одним из побочных продуктов, который образуется в результате сжижения и разделения воздуха в промышленности. Его получают в больших количествах на металлургических предприятиях России и Украины. Именно отсюда поставляется 90% неона для производства процессоров и микросхем. Причем большая часть газа поступает именно из России, а в Украине он только проходит очистку. Solo(1 знак., 27.02.2022 16:39, ссылка)
  - Допустим, но почему один инертный газ в производстве на другой заменить нельзя? Скажем, на аргон? Думаю, они сами свои секреты открыли. Выходит, неон нужен для лазеров на верхних гармониках для излучения в жестком УФ диапазоне. - Visitor(27.02.2022 16:50)
    - Эксимерный лазер Evgeny_CD(36 знак., 27.02.2022 16:57, ссылка, ссылка)
      - Познавательно: буферный газ – гелий или неон. У нас цех, есть там алюминий в аргоновой среде сваривают, Красиво! там от сварки какое то изумрудное сияние. - Visitor(27.02.2022 17:04)
        
        Причем такое ощущение, что этот буерный газ в эксимерном лазере расходуется в приличном количестве. - Evgeny_CD(27.02.2022 17:18)
        
        Я не доучился по специальности инженер - оптик - исследователь :-) Армия. Но по сути, чем лазер от куска волновода или другого резонатора отличается? А спектры газов разные. Скажем, какую длину волны использует ASML для литографии порядка 5 нМ? Я тоже не знаю:-) - Visitor(27.02.2022 17:39)
        
        ~13 нм Там капли олова летят, а их испаряют лазером :) - Evgeny_CD(27.02.2022 18:10)
        
        Статья Evgeny_CD(1 знак., 04.03.2022 13:22, ссылка)
        
        Зачем олово в процессе литографии? Или шутка такая. Как арсенид галлия производится в печке, монокристалл, представляю, как его на пластины режут, догадываюсь (болгаркой:-)) А вот что дальше происходит не в курсе. - Visitor(27.02.2022 21:28)
        
        Пары олова излучают жоский УФ. - mse homjak(27.02.2022 21:33)
        
        13нм - это уже рентген - Evgeny_CD(04.03.2022 12:13)
        
        Граница между жёстким ультрафиолетом и мягким рентгеновским до сей поры численно не определена. И даже размыта на порядок. Суть не в терминологии, а в прикладной физике. - bnb62(04.03.2022 12:43)
        
        АСМЛ работают в дальнем УФ. - mse homjak(04.03.2022 12:14)

Средства и методы разработки